機(jī)器視覺檢測早在二十年前已經(jīng)于半導(dǎo)體工業(yè)上廣泛應(yīng)用，半導(dǎo)體、電子設(shè)備檢測是機(jī)器視覺技術(shù)應(yīng)用的發(fā)源地，同時(shí)也是機(jī)器視覺應(yīng)用的一個(gè)巨大市場。半導(dǎo)體、電子制造業(yè)每一次技術(shù)上的突破如：晶圓越做越大，而內(nèi)部線路越做越細(xì)，向超細(xì)間距式器件挺進(jìn)；連接器體積越來越小，每分鐘生產(chǎn)線上需要檢測、測量器件的數(shù)量越來越多；都伴隨著新一輪半導(dǎo)體、電子生產(chǎn)檢測設(shè)備的誕生。隨之洐生更優(yōu)的質(zhì)量檢測系統(tǒng)需求，用于提升生產(chǎn)效率及良品率，進(jìn)而促使機(jī)器視覺市場不斷發(fā)展壯大。機(jī)器視覺技術(shù)本身也隨著半導(dǎo)體、電子、光學(xué)、自動(dòng)化等技術(shù)的發(fā)展而不斷完善、發(fā)展。
機(jī)器視覺在半導(dǎo)體中有哪些應(yīng)用呢？下面就由樂視自動(dòng)化為大家介紹，半導(dǎo)體中常見的機(jī)器視覺應(yīng)用案例。
※表面識(shí)別/可控性檢測
※測量/對位
※分類篩選
一、表面識(shí)別/可控性檢測
在半導(dǎo)體行業(yè)中，為使產(chǎn)品具有可追溯性，所有的元件都有識(shí)別碼，通過識(shí)別碼可追溯相應(yīng)的生產(chǎn)信息，機(jī)器視覺在檢測半導(dǎo)體表面字符、ID碼、二維碼、Mark點(diǎn)等方面發(fā)揮重要作用。
當(dāng)然對于表面并非只有識(shí)別內(nèi)容，精度越高的產(chǎn)品，對于元件自身的缺陷容忍度越小。所以表面缺陷判斷也使得機(jī)器視覺在行業(yè)內(nèi)不可缺少。
◆晶圓字符二維碼識(shí)別
樣品圖
(1)效果展示
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使用光源：同軸光源
特點(diǎn)：
1、晶圓反光，同軸對反光平面成像均勻
2、亮度高，能兼容二維碼和字符多種特征3、同軸光光路垂直性好，對表面檢測更具優(yōu)勢
◆晶圓表面劃傷
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使用光源：環(huán)形光源
特點(diǎn)：
1、晶圓片表面缺陷方向多樣化，磨砂表面，環(huán)形低角度突顯出各個(gè)方向的缺陷；
2、高密度LED陣列，亮度高；
3、安裝方便，不占用視覺系統(tǒng)的空間。
二、測量/對位
在晶圓生產(chǎn)工藝的整個(gè)過程中，視覺定位發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。因?yàn)闇y量/對位不準(zhǔn)會(huì)損壞很多晶圓，因此表現(xiàn)不佳的視覺系統(tǒng)會(huì)大大增加半導(dǎo)體設(shè)備公司的生產(chǎn)成本。
◆晶元對位
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使用光源：組合光源
特點(diǎn)：
1、晶片具有高反光性，利用圓頂光的均勻性，凸顯定位特征點(diǎn)；
2、由于圓頂中間開孔有陰影，使用同軸補(bǔ)光，充分解決暗影區(qū)；3、組合光均勻性好，結(jié)構(gòu)架設(shè)方便。
◆相機(jī)芯片測量
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使用光源：高亮點(diǎn)光源
特點(diǎn)：
1、相機(jī)芯片特殊才是，利用利用垂直光，芯片輪廓清晰呈現(xiàn)；
2、高亮度、高均勻、高性價(jià)比好，照度可達(dá)到40-100萬LUX；
3、材質(zhì)輕便，散熱性好。
三、分類篩選
半導(dǎo)體在制造過程中要求高速、高效、精準(zhǔn)，其中分類篩選是半導(dǎo)體制造眾多工序中都涉及到的重要環(huán)節(jié)。機(jī)器視覺在表面缺陷檢測、分類、正反篩選，無序抓取識(shí)別等應(yīng)用中都發(fā)揮了重要的作用。
◆貼片電阻缺陷分類
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使用光源：多角度環(huán)形光源
特點(diǎn)：
1、電阻小，缺陷位置不確定，使用多色能清晰呈現(xiàn)缺陷位置；
2、響應(yīng)速度快，亮度高，適應(yīng)高速響應(yīng)；
3、結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)緊湊，方便安裝。
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